此款小型快速退火爐是集成儀最巧妙的結構設計和的加熱方式與一體，使得體積和功率都大幅減小的同時，升降溫速率卻比傳統退火爐提升了數倍之多。它既可以通氣氛又可以抽真空，滿足了很多用戶對小樣品快速退火的工藝要求。
應用范圍：
? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火
? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長
? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);
? 硅化 (Silicidation);
? 擴散 (Diffusion);
? 離子注入后退火 (Implant Annealing);
? 電極合金化 (Contact Alloying);
? 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);
主要特點：
? 極速升溫20℃/S，極速降溫20℃/S;
? 控溫穩定，恒溫精度≤1℃
? 體積小巧，使用功率只有1kw;
? 超高光線反射效率，無需爐膛保溫;
技術參數：
產品名稱 | mini快速退火爐 |
產品型號 | RTP1000S |
極限溫度 | 1000℃ |
額定溫度 | 1000℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
升溫速率 | 20℃/S(900-1000℃升溫3-5℃/S) |
降溫速率 | 隨爐冷卻75℃/min 物料臺拉出降溫800℃/min |
控制方式 | 智能PID |
加熱方式 | 短波紅外線加熱 |
加熱腔體結構 | 石英管 |
樣品冷卻 | 自然冷卻或通入冷卻氣體 |
冷卻氣體調節 | 浮子流量計(100～1000ml/min)（選配） |
超溫保護 | 溫度出現過高時切斷主回路 |
恒溫區尺寸 | 35mm |
載料體尺寸 | 30*25mm |
傳感器類型 | K型 |
真空系統 | 1L/S 雙級聯真空系統 CHY-4C（選配） |
整機真空度 | 3Pa（選配CHY-4C真空泵） |
抽氣端口尺寸 | KF16 |
供氣口尺寸 | 1/4英寸雙卡套 |
額定功率 | 1.5kw |
額定電壓 | AC220V,50Hz |
重量 | 15kg |
配件 | 坩堝鉗1把，說明書1本。 |
外形尺寸 | 610x400x410（長*寬*高） |
