FIB鉑氣體
中文名稱:三甲基甲基環戊二烯鉑(IV(鉑氣體 )
英文名稱:(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV)
CAS:94442-22-5
含量:99%(99.9999%-Pt)
分子式:C9H16Pt
分子量:319.32
分子結構:
外觀:off-white powder
穩定性:air sensitive, store cold
應用:FIB線路修補、保護、沉積、ALD鍍膜.
中文名稱:三甲基甲基環戊二烯鉑(IV(鉑氣體 )
英文名稱:(Trimethyl)methylcyclopentadienylplatinum(IV)
CAS:94442-22-5
含量:99%(99.9999%-Pt)
分子式:C9H16Pt
分子量:319.32
分子結構:
外觀:off-white powder
穩定性:air sensitive, store cold
應用:FIB線路修補、保護、沉積、ALD鍍膜.
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