利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，與臭氧進行反應生成低分子化合物，如CO2、H2O等。投資費低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩定，占地小，運行費用低，隨用隨開，不會造成二次污染。
等離子體技術在環境工程中的應用：
隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生極大的危害，工業廢氣的無控制排放使性的大氣環境日益惡化。因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設備在此情況下應運而生。
降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有很大的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學等基礎學科之上的交叉學科。因此,目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術或根本達不到所要求的處理效率。
