低溫等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。

等離子廢氣凈化器主要采用脈沖高頻高壓等離子體電源和雙介質齒板放電裝置，頂部放電形式產生高濃度離子。等離子體是一種聚集態物質，其所擁有的電子能在毫秒級的時間內，瞬間擊穿空氣和廢氣分子，發生一系列分化裂解反應，產生高濃度、高強度的活性自由基和各種電子、離子等，在與機廢氣中的分子碰撞時會發生一系列基元物化反應，并在反應過程中產生多種活性自由基和生態氧，即臭氧分解而產生的原子氧。2、活性自由基可以有效地破壞各種病毒、細菌中的核酸，蛋白質，使其不能進行正常的代謝和生物合成，從而致其死亡；而生態氧能迅速將有機廢氣分子等離子體中包含大量的電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，生成無害產物。 等離子體化學反應過程中，等離子廢氣凈化器中的等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
1、電場＋電子→電子；

2、電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團；

3、活性基團＋分子(原子)→生成物+熱；

4、活性基團＋活性基團→生成物+熱。

等離子放電過程中產生的高能電子在與氣體分子碰撞的過程中產生OH、O-、O·等自由基和O3。

圖1 介質阻擋等離子體產生臭氧結構圖   氧分子分解、電離過程及臭氧分子形成和分解過程：