光氧催化設備的工作原理：利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射工業有機廢氣，常見的廢氣成分有：氨、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳、乙烯、化物H2S、VOC類等，使有機或無機高分子化合物的分子鏈斷裂，在高能紫外線光束照射下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等。
利用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，臭氧對有機物具有*的氧化作用。
廢氣利用排風設備輸入到光氧催化設備后，運用高能UV紫外線光束及臭氧對廢氣進行協同分解氧化，使高分子廢氣結構降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通過排風管道排出室外。
高能-C波段的光束也可裂解細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），再通過臭氧進行氧化反應，*達到凈化及殺滅細菌的目的。從凈化效率的角度考慮，我們選擇了-C波段紫外線和臭氧結合電暈電流裝置采用脈沖電暈放吸附技術相結合的原理對有害氣體進行消除，其中-C波段紫外線主要用來去除硫化氫、氨、乙酸乙酯、乙烷、丙酮、尿烷、樹脂等氣體，使有機物變為無機化合物。
特制催化劑：根據不同的廢氣成分配置27種以上相對應的惰性催化劑，催化劑采用蜂窩狀金屬網孔作為載體，*與光源接觸，惰性催化劑在338納米光源以下發生催化反應，放大10-30倍光源效果，使其與廢氣進行充分反應，縮短廢氣與光源接觸時間，從而提高廢氣凈化效率。
