- 設(shè)備專門用于IT 制造業(yè)結(jié)構(gòu)件真空踱膜加工,各系統(tǒng)單元和總體構(gòu)成滿足光學(xué)和功能薄膜生產(chǎn)工藝要求,適用AR膜、NCVM顏色膜、金屬裝飾膜、金屬功能膜、AF功能膜等。
- 該渡膜機(jī)鍍膜機(jī)采用立式箱體,前置室門上裝有觀察窗,箱內(nèi)安裝轉(zhuǎn)架驅(qū)動(dòng),爐內(nèi)安裝烘烤系統(tǒng),后置排氣法蘭連接高真空泵;
1) 前級真空:由旋片泵、 羅茨泵構(gòu)成;
2) 高真空:擴(kuò)散泵、 超低溫冷凝水捕集泵(Polycold) , 真空室和擴(kuò)散泵冷阱;
3) 抽氣系統(tǒng):由各級泵、 管道和閥門,在系統(tǒng)的控制下完成啟動(dòng)、 粗抽精抽、 待命和維持流程。
項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
成膜系統(tǒng) | 1)中頻電源旋轉(zhuǎn)陰極李生圓柱靶*1, 另外預(yù)留對靶位(電源可轉(zhuǎn)換分別驅(qū)動(dòng)兩套靶) 2)8舟阻抗式蒸發(fā)源*2; 3)離子轟擊棒*4。 |
工作模式 | 離子清洗、 加熱蒸發(fā),石英晶體薄膜厚度控制器監(jiān)控膜厚并自動(dòng)判停。 |
工藝流程 | 裝夾-抽真空-離子清洗-電子槍蒸渡-阻抗式蒸發(fā)AF- 進(jìn)氣、 出爐。 |
功率 | 總功率148KW, 平均功率48KW |
設(shè)備外尺寸及總重 | 1)主框架及控制柜,不開門 W4500× D6000× H3250 , 開門 W4500×D7300× H3250; 2)粗抽泵組及粗抽管占地:2000×1500; 3)主框架外部必要的操作和維護(hù)維護(hù)空間:水平方向外延伸 800mm; 垂直向上延伸 400mm 4)總重:9 噸 |