1. 效率高、阻力低、容塵量高;
2. 重量輕、厚度薄;
3. 安裝方便、運行成本低。
二、應用領域
廣泛用于超LSI制造工廠、半導體制造工廠、原子力研究中心、無塵室、超凈實驗室、超凈工作臺等其他要求超高潔凈度的場合。
三、設計特點
1. 主要用于過濾0.12μm以上的空氣懸浮顆粒,作為十級與一級過濾系統的末端過濾。
2. 濾料采用美國HV超細玻璃纖維濾紙制成,以熱熔膠為分隔。
3. 此設計降低了運行成本,無隔板的熱塑性隔膠可以確保相同褶層間距,保證了氣流通過,達到高容塵量,充分利用了過濾器整個深度的濾材。
4. 外框采用經陽極處理增加強硬度及耐久的防腐性。
5. 過濾器四周均用特殊密合劑密封,確保整個過濾器的密封性。
6. 在過濾器進、出風面加裝噴塑護網,以保護濾紙不被損壞。
7. 每臺過濾器均經嚴格測試。
8. 過濾效率等級:U15、U16、U17(EN1822)。
四、材料構成與運行條件
濾料 | 美國HV超細玻璃纖維濾紙 |
密封膠 | PU雙組份聚氨脂AB膠 |
框材 | 鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框 |
防護網 | 噴塑菱形網 |
分隔物 | EVA熱熔膠 |
密封膠條 | EVA或氯丁橡膠 |
過濾效率 | U15:99.999-99.9995%@0.12μm U16:99.9999-99.99995%@0.12μm U17:99.99999-99.999995%@0.12μm |
使用溫度 | 70℃ |
使用濕度 | 99% |
外形尺寸(W*H*D)(mm) | 額定風量(m³/h) | 過濾面積(m²) | 容塵量(g) | 初阻力(Pa) | 終阻力(Pa) | 過濾效率 |
320*320*50 | 150 | 1.99 | ≈160 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |
484*484*50 | 300 | 4.51 | ≈360 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |
610*610*50 | 450 | 7.13 | ≈570 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |
915*610*50 | 650 | 10.58 | ≈850 | ≤150 ≤160 ≤170 | 400-600 | U15 U16 U17 |