一．產品特點
- 儀器管路經鈍化處理，零死體積管路設計，等特殊工藝保證了系統的惰性，可靠性更高，使用壽命更長
- 進樣預處理系統和切換閥均采用帶吹掃保護氣路的進口自動閥，可防止空氣混入、提高系統的密閉性
- 配置氣體分離專用微填充柱和高效毛細管柱，配合分離預切再分離技術，實現樣品更高分離度
- 采用了*的10/100M自適應以太網接口，實現全網絡反控，工作站界面簡單，數據處理功能強大。
- 采用成熟的多閥多柱，中心切割和反吹技術，的設計工藝，穩定可靠的高純氣體分析色譜技術解決方案
氦離子檢測器
二．技術參數
◆溫控系統
柱箱溫度范圍：室溫+5℃～450℃
溫度設定精度：0.01℃
溫控數量：8路獨立控溫系統
程序升溫速度：0.1～40℃/min
智能后開門：進出風量無級可調
降溫速度：從350℃降至50℃＜7min
程序升溫階數：16階（可擴展）
最長一次運行時間：999.99min
◆進樣系統
控制方式：壓力/流量控制
流量：氣體流量為1000SCCM
靈敏度：0.01SCCM
輸出偏移量（精度）：±5%
分流比：5000:1
電磁閥：高速切換電磁閥壽命長(10mS，100萬次)
進樣閥：可搭載多個進口自動控制閥，可自動序列運行
◆檢測器及純化器系統
檢測氣體類型：H2、Ar、O2、N2、CH4、CO、CO2等
放電模式：脈沖放電
基線噪聲：≤0.05mv
基線漂移：≤0.2mv/30min
檢測限：10ppb（甲烷）
重復性：RSD≤3%
可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe等
操作壓力：1000Psi
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3等
殘留濃度：≤10ppb
檢測指標：
雜質： | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H2 | C2H4 | C2H6 | N2O等 |
PPB | 10 | 10 | 15 | 25 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 20 |
三．適用標準：
GB/T 16942-2009《電子工業用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業用氣體 氧》 GB/T 14601-2009《電子工業用氣體 氨》
GB/T 15909-2009《電子工業用氣體 硅烷》 GB/T 18994-2003《電子工業用氣體 高純氯》
GB/T 14851-93《電子工業用氣體 》 GB/T 14603-2009《電子工業用氣體 》
GB/T 28125.1-2011《空分工藝中危險物質的測定》
四．典型譜圖：
