型號:OTF-1200X-PESDFG-50
產品概述:OTF-1200X-PESDFG-50是一款雙爐體滑動的PECVD系統,連接循環手套箱。此款設備中石英爐管與循環手套箱連接,可利用CVD方法,將樣品處理后直接移入到氣氛保護環境下的手套箱中。爐體采用滑動式,可在實驗室中對樣品進行快速加熱和快速冷卻。此款儀器特別適合新一代納米材料和二維晶體材料的探索研究。
設備名稱 | 雙爐體滑動PECVD系統&循環手套箱—OTF-1200X-PESDFG-50 (2019.12.18—科晶實驗室審核) | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品提示 | 1、多種配件可選提示 2、特殊設備尺寸設備 3、科晶實驗室邀請提示 4、配件妥善保管提示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
產品特點 | ? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統的石英管連接; ? 兩個爐體在一個滑軌上,可通過爐體的滑動達到對樣品快速加熱和快速冷卻的效果。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
加熱爐參數 | ? 連續工作溫度:1100℃ ? 兩個爐體都可設置30段升降溫程序 ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料(表面涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率延長爐膛使用壽命) ? 電源:AC220,50Hz 功率:3KW
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手套箱參數 | ? 帶有除水系統:保持水含量< 2 ppm ? 真空法蘭在手套箱的左邊,與PECVD系統的石英管連接 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
射頻電源 | ? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。
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真空系統 | ? 采用TRP-12的雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達10-2Torr。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
供氣系統 | ? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍:
? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出; ? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。
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產品尺寸 | ? 爐體尺寸:1600mm(L) ′430mm (W) ′ 500mm(H) ? 手套箱尺寸:780mm(L)′ 700mm(W) ′ 650mm(H)
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認證 | ? CE認證 ? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證 ? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證 | ||||||||||||||||||||||||||||||||
承諾 | ? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |