Smartproof 5擁有業內*佳的高分辨率和高速度共聚焦系統，的轉盤共聚焦技術有效地減少獲取分析結果的時間。集成和穩固設計確保無附加防振設備下能夠在不同環境中安裝并使用，有的操作者模式適合工業生產的批量檢測任務，能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她**端的光學技術和基于用戶的設計理念，再次向世界證明了光學品牌的地位。

　　產品特點

　　l高分辨

　　由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統光學分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達到120 nm。

　　l高測量精度

　　同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上，Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置，*小步進精度達到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

　　l高速掃描

　　傳統共聚焦采用點掃描成像，速度較慢;而Smartproof 5采用轉盤掃描，成像速度大大提高，*快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率)，可以說瞬間即可得到測量結果，大大提高工作效率。

　　l真實色彩還原

　　還可使用三色LED光源，能夠展現被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。

　　技術參數：

　　1. 波長：405nm

　　2. 分辨率：120nm

　　3. Z軸*小步進精度：1nm

　　4. 成像速度：常規共聚焦的2-3倍

　　5. 物鏡：2.5x-100x

　　6. 高度掃描范圍：高達5mm

　　7. 載物臺：150mm×150mm超大行程

　　8. 控制系統：Smartproof 5應用軟件

　　9. 圖像處理和數據測量：

　　2D：距離，高度，角度，構造元素，基于ISO 4287的輪廓粗糙度

　　3D：水平距離，3D距離，高度，角度，構造點，面積，體積，基于ISO 25178的面粗糙度

　　其他：水平調整，形狀去除，濾波，去噪，報告