等離子體納米改良升級系統
是一款為工業級客戶和研發型客戶使用需求設計的寬泛使用等離子表面處理設備，適用于等離子清洗，活化以及刻蝕等多種應用，設備可在嚴苛環境下穩定運行，獲得高度均一的使用效果。
等離子體納米改良升級系統產品特點：
1、13.56MHz射頻電源與自動匹配系統，具有優異的穩定性與可重復性
靈活的電極結構設置與優化的氣體饋入、分布方案，確保大批量處理的均勻性
PLC與工控機提供穩定的過程控制，設備運行的實時參數通過顯示屏直觀呈現
系統穩定可靠，易于保養與維護
2、標準腔體電極為平行板電極結構，通過改變電極配置(RF電極、地電極、懸浮電極等)可以獲得不同的工藝效果
3、至多支持擴展至8片電極
4、每對電極間為獨立空間
5、批處理電極改變了標準的平行板電極結構
6、通過優化的電場和進氣設計實現對magazi和boat等載具內產品的均勻處理。
技術參數：
應用領域：
1、表面清潔與活化
2、表面有機污染物與金屬氧化物的去除
3、增強表面膠體流動性，消除涂層分層
4、提升表面能，實現難粘材料的有效結合
5、表面粗化及微刻蝕
6、納米級表面粗化，應力釋放
7、光刻膠、殘膠的去除
8、對多種材料的選擇性刻蝕
