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Bruker ContourGT-K 白光干涉儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2021/6/30 8:24:07
  • 訪問次數(shù)289
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亞科電子(包括亞科電子(香港)有限公司、北京亞科晨旭科技有限公司等)成立于1998年,公司自成立以來就一直專注于半導體、微組裝和電子裝配等領(lǐng)域的設(shè)備集成和技術(shù)服務(wù);目前公司擁有一支在半導體制造、微組裝及電子裝配等領(lǐng)域經(jīng)驗豐富的專業(yè)技術(shù)團隊,專業(yè)服務(wù)于混合電路、光電模塊、MEMS、*封裝(TSV、Fan-out等)、化合物半導體、微波器件、功率器件、紅外探測、聲波器件、集成電路、分立器件、微納等領(lǐng)域。我們不僅能為客戶提供整套性能可靠的設(shè)備,還能根據(jù)客戶的實際生產(chǎn)需求制訂可行的工藝技術(shù)方案。  目前亞科電子已與眾多微電子封裝和半導體制造設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:BRUKER、EVG、TRYMAX、CAMTEK、CENTROTHERM、SENTECH、ENGIS、ADT、SONOSCAN、ASYMTEK、MARCH、PANASONIC、HYBOND、OKI、KEKO等),為向客戶提供*的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)打下了堅實基礎(chǔ)。   亞科電子目前客戶遍及國內(nèi)所有科研院所、高校和研發(fā)制造企業(yè),已成功地服等各研究所;清華大學、北京大學、復旦大學等各大高校;三安集成、華潤微電子等多個制造企業(yè)。   亞科電子歷年來秉承“專業(yè)服務(wù),全面服務(wù)”的宗旨,為客戶提供整套技術(shù)工藝和設(shè)備方案。通過專業(yè)的技術(shù)服務(wù),實現(xiàn)了真正意義上的交鑰匙工程。高性能的設(shè)備和專業(yè)的技術(shù)服務(wù)是我們成功的基石,亞科電子期待與更多國內(nèi)外客戶的合作。
表面處理儀 X射線衍射儀
Bruker ContourGT-K 白光干涉儀
Bruker ContourGT-K 白光干涉儀 產(chǎn)品信息
【產(chǎn)品簡介】
 
ContourGT-K 三維光學輪廓儀具有完善的表面測量和分析功能,擁有工業(yè)的測量性能和靈活性。采用白光干涉技術(shù),超大視野內(nèi)埃級至毫米級的垂直計量量程,具有業(yè)界的垂直分辨率和測量重復性。其直觀的用戶界面方便用戶快速高效的獲得材料表面粗糙度、二維 / 三維表面輪廓以及多種高精度數(shù)據(jù),廣泛應(yīng)用于 IC 半導體、LED、太陽能電池、薄膜材料、MEMS、精密機械零部件、摩擦磨損等各個領(lǐng)域,滿足各種表面測量的實際需求。
 
【主要應(yīng)用】
 
1、 用于較大范圍的樣品表面形貌、粗糙度、三維輪廓等特性的快速測量;
2、 廣泛應(yīng)用于半導體材料表面粗糙度、陶瓷基板的翹曲度、激光刻蝕痕跡、BUMP 三維結(jié)構(gòu)、MEMS 器件關(guān)鍵尺寸、TSV 孔尺寸和精密機械加工部件等領(lǐng)域的測量。
 
【主要參數(shù)】
 

垂直量程

0.1nm 至 10mm(閉環(huán)無拼接)

垂直分辨率

0.1nm

電動樣品臺移動范圍

±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動

橫向取樣間隔

0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 )

光學橫向分辨率

350nm

臺階測試精度

0.75%

臺階重復性

<0.1% 1σ

傾斜調(diào)整

手動樣品臺調(diào)節(jié) ± 6°

垂直掃描速度

47um / 秒,用戶可自行設(shè)定

轉(zhuǎn)塔調(diào)節(jié)

手動自動可選

 

分析軟件功能

可進行兩維和三維分析,多區(qū)域自動分析可對目標區(qū)域進行統(tǒng)計編號,可自動分析目標區(qū)域內(nèi)高度或深度分布情況),可分析表面粗糙度,可分析樣品表面缺陷及臺階高度, 并可對多次測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計,得到詳細的統(tǒng)計報告含平均值,方差,最小值,值等。可進行編程自動多點測量。可提供的數(shù)據(jù)包括高逼真度的三維圖像,二維剖面圖, 以及大量完整的表面粗糙度參數(shù)。

 

 
關(guān)鍵詞:光學輪廓儀 電池
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