垂直量程 | 0.1nm 至 10mm(閉環(huán)無拼接) |
垂直分辨率 | 0.1nm |
電動樣品臺移動范圍 | ±150mm (XY 軸 )/100mm(Z 軸 ),XYZ 三軸自動 |
橫向取樣間隔 | 0.1µm 至 13.2µm ( 由配備的 FOV 目鏡和干涉物鏡倍數(shù)決定 ) |
光學橫向分辨率 | 350nm |
臺階測試精度 | 0.75% |
臺階重復性 | <0.1% 1σ |
傾斜調(diào)整 | 手動樣品臺調(diào)節(jié) ± 6° |
垂直掃描速度 | 47um / 秒,用戶可自行設(shè)定 |
轉(zhuǎn)塔調(diào)節(jié) | 手動自動可選 |
分析軟件功能 | 可進行兩維和三維分析,多區(qū)域自動分析(可對目標區(qū)域進行統(tǒng)計編號,可自動分析目標區(qū)域內(nèi)高度或深度分布情況),可分析表面粗糙度,可分析樣品表面缺陷及臺階高度, 并可對多次測量數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計,得到詳細的統(tǒng)計報告(含平均值,方差,最小值,值等)。可進行編程自動多點測量。可提供的數(shù)據(jù)包括高逼真度的三維圖像,二維剖面圖, 以及大量完整的表面粗糙度參數(shù)。 |