公司介紹：

NTT-AT有著多年的X射線、極紫外光學配件的研發與銷售經驗。在范圍內，通過與眾多來自同步輻射科學，阿秒科學，高強度物理學等領域的科學研究者開展緊密合作，積累了大量*的設計與制造技術，其產品在業內享有很高的評價。NTT-AT提供的菲涅爾波帶片有著高分辨率，高聚光效率等特點，適合被各種輻射光設施使用。另外，分辨率測試卡被當作業界的標準。不只是學術研究，在X射線的檢查裝置開發現場也被廣泛使用。XUV鏡片，XUV濾波片不僅對阿秒科學有著幫助，對下一代的光刻研究也有這重要作用。NTT-AT將在XUV,EUV, X線領域給予客戶在研發上的幫助。

產品介紹：

世界上只有恩梯梯技術公司生產基于SiC膜的 FZP

優點：

恩梯梯技術公司的由SiC膜和Ta吸收體圖案組成的菲涅耳波帶板（FZP）具有出色的高耐X射線輻射性、高分辨率和高對比度。
只有恩梯梯技術公司提供基于SiC膜的菲涅耳波帶板（FZP）具有出色的高耐X射線輻射性。恩梯梯技術公司的FZP由干法蝕刻的Ta組成。吸收體圖案清晰，S/N比高，成像缺陷少, 能理想地應用于X射線顯微鏡、X射線微光束輻射和X射線成像。
另外，還提供用于軟X射線和極紫外（EUV、XUV）領域的Ta圖案／SiN膜型FZP和Au板圖案／SiN 膜型FZP。并提供臺階式（基諾全息照片）FZP。

特點:

• 能用于X射線顯微鏡、EUV顯微鏡、X射線微光束輻射和同步加速器輻射光束監視等各種X射線應用。

• 出色的高耐X射線輻射性

• 最小區域寬度達25納米

• 可定制FZP

菲涅耳波帶板（FZP）的X射線吸收體圖案

可按要求定制設計FZP，滿足用戶的特殊X射線能量、光學設置和聚焦、圖像性能。如果本公司的標準產品商品目錄中沒有所需的產品，請聯系我們。

圖案示意圖
（φ2.5mm）（光學顯微鏡）

以對角觀察的SEM圖
（SEM）

菲涅耳波帶板（FZP）的結構

二進制型

臺階（基諾全息照片）式

※我們可與用戶商討不同需求。