奧林巴斯OLS5000 3D測(cè)量激光共聚焦顯微鏡采用了高級(jí)光學(xué)系統(tǒng)，可通過(guò)非破壞觀察生成高畫(huà)質(zhì)的圖像進(jìn)行精確的3D測(cè)量、符合ISO標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度測(cè)量等，其準(zhǔn)備工作也非常簡(jiǎn)單且無(wú)需對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)先處理。
LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
LEXT OLS5000 3D測(cè)量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價(jià)值：
· 捕捉任意表面形狀。
· 快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
· 使用簡(jiǎn)單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
· 測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品。
價(jià)值1：捕捉任意表面形狀。
OLS5000顯微鏡的*技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測(cè)量。
價(jià)值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時(shí)間，簡(jiǎn)化您的工作流程，zui終實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。
價(jià)值3、使用簡(jiǎn)單，只需放置樣品并按一下按鈕即可
LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動(dòng)數(shù)據(jù)采集功能，因而無(wú)需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶(hù)也可以獲得準(zhǔn)確的檢測(cè)結(jié)果。
價(jià)值4、可測(cè)量具有挑戰(zhàn)性的樣品
低輸出、非接觸式無(wú)損激光測(cè)量意味著不需要樣品制備。可以在不損壞易損性材料的情況下對(duì)其進(jìn)行測(cè)量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長(zhǎng)工作距離物鏡能夠測(cè)量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測(cè)量這兩類(lèi)樣品時(shí)，您只需將樣品放在載物臺(tái)上即可。
[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測(cè)量樣品的表面不規(guī)則性。
[405納米激光光源]
光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長(zhǎng)的減小而獲得提升。采用短波長(zhǎng)激光的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(zhǎng)激光二極管獲得的橫向分辨率。
[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過(guò)圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對(duì)比度更高的圖像
[X-Y掃描儀]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對(duì)物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
[高度測(cè)量原理]
在測(cè)量高度時(shí)，顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測(cè)光強(qiáng)度（I）可以估算每個(gè)像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對(duì)應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類(lèi)似，通過(guò)峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對(duì)樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴(kuò)展圖像）。
主機(jī)規(guī)格：
型號(hào) | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | ||
總倍率 | 54x - 17,280x | ||||||
視場(chǎng)直徑 | 16 μm - 5,120 μm | ||||||
測(cè)量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 | |||||
光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） | ||||||
高度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 0.5 納米 | |||||
動(dòng)態(tài)范圍 | 16 位 | ||||||
可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *6 | 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm | ||||||
精度 *1 *3 *6 | 測(cè)量值 +/- 1.5% | ||||||
拼接圖像精度 *1 *4 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [μm]) | ||||||
測(cè)量噪聲（SQ 噪聲）*1 *5 *6 | 1 納米 | ||||||
寬度測(cè)量 | 顯示分辨率 | 1 納米 | |||||
可重復(fù)性 3 n-1 *1 *6 | 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm | ||||||
精度 *1 *3 *6 | 測(cè)量值 +/- 1.5% | ||||||
拼接圖像精度 *1 *3 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長(zhǎng)度 [μm]) | ||||||
單次測(cè)量時(shí)測(cè)量點(diǎn)的zui大數(shù)量 | 4096 x 4096 像素 | ||||||
測(cè)量點(diǎn)的zui大數(shù)量 | 3600 萬(wàn)像素 | ||||||
XY 載物臺(tái)配置 | 長(zhǎng)度測(cè)量模塊 | • | 無(wú) | 無(wú) | • | 無(wú) | |
工作范圍 | 100 x 100 mm 電動(dòng) | 100 x 100 mm 手動(dòng) | 300 x 300 mm 電動(dòng) | 100 x 100 mm 電動(dòng) | 100 x 100 mm 手動(dòng) | ||
zui大樣品高度 | 100 mm | 30 mm | 30 mm | 210 mm | 140 mm | ||
激光光源 | 波長(zhǎng) | 405 nm |
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zui大輸出 | 0.95 mW |
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激光分類(lèi) | 2 類(lèi) (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) |
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彩色光源 | 白光 LED | ||||||
電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | ||
質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 公斤 | 約 30 公斤 | 約 50 公斤 | 約 43 公斤 | 約 39 公斤 | |
控制器 | 約 12 公斤 | ||||||
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