特點(diǎn)
• Z 軸裝有數(shù)顯弧形標(biāo)尺，可以提供更大的
測(cè)量范圍和更高的分辨率，從而不必再
依靠測(cè)量倍率。
• 可以應(yīng)用數(shù)據(jù)分析系統(tǒng) ( 個(gè)人計(jì)算機(jī)和
FORMTRACEPAK 軟件 ) 。
技術(shù)參數(shù)
X1 軸
測(cè)量范圍 : 50mm ( CV-1000 ) 或 100mm ( CV-2000 )
分辨率 : 0.2μm
檢測(cè)方法 :
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度 : 0.2, 1mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度 : 0.2, 0.5mm/s
測(cè)量方向 :
向后
直線度 : 3.5μm / 50mm ( CV-1000 ) ,
3.5μm / 100mm ( CV-2000 )
* 以 X 軸為水平方向上
指示精度 : ± ( 3.5+2L/100 ) μm
* L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 ( mm )
傾斜范圍 :
±45o
( CV-2000 )
Z2 軸 ( 立柱 , 僅用于 CV-2000 )
立柱類型 :
電動(dòng) ( S4 型 ) 和手動(dòng) ( M4 型 )
垂直移動(dòng) : 250mm ( S4 型 ) , 320mm ( M4 型 )
驅(qū)動(dòng)速度 : 1 - 5mm/s 外加手動(dòng)
Z1 軸 ( 檢測(cè)器 )
測(cè)量范圍 : 25mm ( CV-1000 ) 或 40mm ( CV-2000 )
分辨率 : 0.4μm ( CV-1000 ) 或 0.5μm ( CV-2000 )
檢測(cè)方法 :
弧形編碼器
指示精度 : ± ( 3.5+I4HI/25 ) μm
( 20oC 時(shí) ) *H 為水平位置上的測(cè)量高度 ( mm )
測(cè)針上／下運(yùn)作 : 弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針方向 :
向下
測(cè)力 : 10 - 30mN
跟蹤角度 :
向上 : 77o, 向下 : 87o
( 根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針 )
測(cè)針針尖 半徑 : 25 μ m, 硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸 ( W x H ) : 650 x 450mm ( CV-2000 )
基座材料 : 花崗巖 ( CV-2000 )
重量 : 5kg ( CV-1000N2 )
115.8kg ( CV-2000M4 )
130.3kg ( CV-2000S4 )
電源 : 100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
