特點
• 大幅提高的驅(qū)動速度 ( X 軸 : 80 mm/s, Z2 軸
立柱 : 20mm/s ) 進一步減少了總的測量時
間。
• 為了長時間保持橫向線性規(guī)格，三豐公
司采用極堅硬的陶瓷導(dǎo)軌，既抗老化又
經(jīng)久耐磨。
• 驅(qū)動器 ( X 軸 ) 和立柱 ( Z2 軸 ) 均配備了高
精度線形編碼器 ( 其中 Z2 軸上為 ABS 型 ) 。
因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、
對較難定位部件的重復(fù)測量的重復(fù)精度
得以提高
表面粗糙度測量
• 直線度: ±
( 0.05+0.001L ) μm*
專用于需要高精度測量的工件。
*S4 型、 H4 型、 W4 型 ； L 為驅(qū)動長度 ( mm )
• 符合 JIS '82/'94/'01, ISO, ANSI, DIN, VDA 等
表面粗糙度的標準。
• 標準配置： 高精度測頭 ( 0.75mN / 4mN 測力 ) ，
分辨率高至 0.0001μm 。
輪廓驅(qū)動測量
• X 軸精度: ±( 0.8+0.01L ) μm*
Z1 軸精度: ±( 0.8+I0.5HI/25 ) μm*
專用于需要高精度測量的工件。
* SV-C4100S4 型、 H4 型、 W4 型； L 為驅(qū)動長度 , H 為測量高度 ( mm )
• SV-C4100 系列的輪廓驅(qū)動器配備了激光
全息測微計測頭， Z1 軸寬／窄范圍均能
達到*的精度和分辨率。
