半導體器件性能表征系統
型號：進口
該半導體器件性能表征系統是一個可以提供精密電流源、電壓源和測試功能的測試系統，為半導體器件和測試結構的直流參數測試、實時繪圖與分析提供了一套完整的方案，具有高精度和亞fA 級的分辨率，可廣泛應用于各類新材料、薄膜材料、異質結構等光電子材料及器件的電學性質和物理特性的研究。
特點
■直觀的、點擊式Windows 操作環境；
■*的遠端前置放大器，將SMU的分辨率擴展至0.1fA；
■內置PC提供快速的測試設置、強大的數據分析、制圖與打印、以及測試結果的大容量存儲；
■*的瀏覽器風格的軟件界面，根據器件的類型來安排測試；
■支持多種外圍設備；
■用戶測試模塊功能，可用于外接儀表控制與測試平臺集成，是KITE功能的擴充。
技術參數
■電壓測量范圍：1μV-200V，電壓測量zui小分辨率為1μV；
■電流測量范圍：100fA-100mA，電流測量zui小量程為100nA；
■在zui小量程上的電流測量zui小分辨率為100fA，精度30pA。
應用
■ 片上參數測試；
■ 晶圓級可靠性；
■ 封裝器件的特性分析；
■ 使用Model4200-SCS控制外部LCR表進行C-V、I-V特性分析；
■ 高K柵電荷俘獲；
■ 受自加熱效應影響的器件和材料的等溫測試；
■ 電荷泵方法分析MOSFET器件的界面態密度；
■ 電阻式或電容式MEMS驅動特性分析 ；
■ 半導體激光二極管DC/CW特性分析；
■ 收發模塊DC/CW特性分析；
■ PIN和APD特性分析 。
