低溫等離子廢氣除臭設備等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，終轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。
低溫等離子廢氣除臭設備該設備適用范圍廣泛，可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠、畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、制漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、食品填加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便轉運站等諸多行業存在的有機廢氣、異味、惡臭等污染問題。既可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一項用途極為廣泛的新型空氣環境潔凈技術和產品。
采用低溫等離子體分解氣體污染物時，等離子體中的高能電子起決定性作用。數萬度的高能電子與氣體分子（原子）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一些列過程，使氣體處于活化狀態。電子的能量較低時，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當電子平均能量超過污染物分子化學鍵結合能時，分子鍵斷裂，污染物分解。
在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。占地面積小;電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用;運行費用低;反應快、停止十分迅速，隨用隨開。
