低溫等離子廢氣凈化設(shè)備在外加電場的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊廢氣分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹唵涡》肿影踩镔|(zhì)，或使有毒有害物質(zhì)轉(zhuǎn)變成無毒無害或低毒低害的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。
廢氣先經(jīng)均流板過濾棉進入設(shè)備時，由設(shè)備高壓穩(wěn)定高頻放電，瞬間產(chǎn)生1.5萬伏特至2萬伏特高壓，擊穿廢氣。此階段中，長鏈、多鏈廢氣分子由于鍵能較弱，約束力較小。很容易被擊穿化學(xué)鍵破裂，從而變成小分子化合物，此為一階段凈化。其次，隨廢氣進入設(shè)備的水分子、氧分子被高壓擊穿斷裂，生成強氧化基團羥基、臭氧分子等。這些強氧化基團與廢氣分子充分接觸氧化，加快反應(yīng)進程。整個反應(yīng)干凈，能量利用率高，凈化效率非常高。
低溫等離子廢氣凈化設(shè)備優(yōu)點：
1、介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用。
2、反應(yīng)快，不受氣速限制。
3、采用防腐蝕材料，電極與廢氣不直接接觸，根本上解決了設(shè)備腐蝕問題。
4、只需用電，操作簡單，無需派專職人員看守，基本不占用人工費。
5、設(shè)備啟動、停止十分迅速，隨用隨開，不受氣溫的影響。
6、氣阻小，工藝成熟。
等離子廢氣凈化設(shè)備電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到污染物分子中去，那些獲得能量的污染物分子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團。然后這些活性基團與氧氣、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。
另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。
