光氧廢氣處理設備氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
光氧廢氣處理設備
特點：① 采用單級或多級串聯洗滌，對污染物去除*，去除效率高。② 處理高濃度惡臭廢氣具有明顯優勢，運行穩定。③ 具有啟動速度快、可間歇運行、耐沖擊負荷強、受溫度影響小、運行穩定等特點。④ 自動化程度高，占地面積小,化學洗滌除臭設備適用于污水處理廠、制藥廠、化工廠等具有堿性或酸性且濃度比較高的尾氣治理。活性炭除臭設備采取切線出風、環狀過濾、中間進風、上不加料、下部卸料的結構，克服了傳統的活性炭過濾器過濾阻力大、面積小、占地面積大、設備投資高、更換活性炭困難等缺陷，使活性炭過濾設備結構設計近乎于完美。
活性炭除臭設備是等體積傳統活性炭過濾設備過濾面積的2~4倍，阻力只有傳統的1/2~1/3。環形活性炭凈化裝置由于采用切線出風，其方向不受場地條件限制可任意擺放，抽風機和設備對接極易，排放管可直接固定于設備上，系統整齊合理, 廢氣的產生部位比較多，并且分散在車間中，因此在處理廢氣之前必須先把廢氣收集起來，所以需要集氣系統對其進行收集后統一進行處理,
在車間機器產生廢氣的具體部位加上密閉系統，然后安裝相對應的管道，利用風機作用將廢氣抽出；另外，一方面在車間四周的地面部位安裝一定量的鼓風機，將車間內散布的廢氣由下而上鼓氣，另一方面在車間頂部安裝抽風機，使抽氣量大于鼓風量，從而車間內產生一定的低負壓，保證了車間內廢氣不會像外擴散。抽出的廢氣統一由管道外送進行處理。
