等離子光催化廢氣凈化設備等離子體是含有大量電子、離子、分子、中性原子、激發態原子、光子和自由基等組成的物質的第四種形態，其總正負電荷數相等宏觀上呈電中性，但具有導電和受電磁影響的性質，表現出很高的化學活性。等離子體中可*地產生大量極活潑的高活性物種，這在普通的熱化學反應中不易得到，這些活性物種(特別是高能電子) 含有巨大的能量，可以引發位于等離子體附近的催化劑，并可降低反應的活化能。同時，催化劑還可選擇性地促進等離子體產生的副產物反應，得到無污染的物質。
光催化技術原理：
等離子光催化廢氣凈化設備在光解催化氧化設備內，高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生的臭氧、?OH(羥基自由基)對有機廢氣氣體進行協同分解氧化反應，同時大分子有機氣體在紫外線作用下使其鏈結構斷裂，使有機廢氣氣體物質轉化為無臭味的小分子化合物或者*礦化，生成水和 CO2，達標后經排風管排入大氣。
由于活性離子和自由基氣體放電時一些高能激發粒子向下躍遷能產生紫外光線，當光子或電子的能量大于半導體禁帶寬度時，就會激發半導體內的電子，使電子從價帶躍遷至導帶，形成具有很強活性的電子空穴對，并進一步誘導一系列氧化還原反應的進行。低溫等離子體。
光生空穴具有很強的獲得電子能力，可與催化劑表面吸附的O2和H2O發生反應生成羥基自由基，從而進一步氧化污染物。由于等離子體放電光催化過程有大量高能電子沖擊、活性粒子、紫外線輻射等綜合因素的協同作用，因而可以更快速有效地分解空氣中有害物質和滅菌除臭。
