低溫等離子體廢氣處理低溫等離子體技術(shù)在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢(shì)顯著。其基本原理是在電場(chǎng)的加速作用下，產(chǎn)生高能電子，當(dāng)電子平均能量超過(guò)目標(biāo)治理物分子化學(xué)鍵能時(shí)，分子鍵斷裂，達(dá)到消除氣態(tài)污染物的目的。

低溫等離子體廢氣處理低溫等離子體被稱(chēng)作除固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外的第四種物質(zhì)存在形式。等離子體是由電子、離子、自由基和中性離子組成的導(dǎo)電性流體，整體保持電中性。按離子的溫度，等離子體可分為熱平衡等離子體（熱等離子體）和非平衡等離子體（低溫等離子體）。在熱平衡等離子體中，電子與其他離子的溫度相等，一般在5000K以上；在非平衡等離子體中，電子溫度一般要高達(dá)數(shù)萬(wàn)度，而其他離子的溫度只有300—500K。 

采用低溫等離子體分解氣體污染物時(shí)，等離子體中的高能電子起決定性作用。數(shù)萬(wàn)度的高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解、電離等一些列過(guò)程，使氣體處于活化狀態(tài)。電子的能量較低時(shí)，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過(guò)等離子體定向鏈化學(xué)反應(yīng)后被脫除。當(dāng)電子平均能量超過(guò)污染物分子化學(xué)鍵結(jié)合能時(shí)，分子鍵斷裂，污染物分解。

常規(guī)意義上的等離子體態(tài)是中性氣體中產(chǎn)生了相當(dāng)數(shù)量的電離。當(dāng)氣體溫度升高到其粒子的熱運(yùn)動(dòng)動(dòng)能與氣體的電離能可以比擬時(shí)，粒子之間通過(guò)碰撞就可以產(chǎn)生大量的電離過(guò)程。

并非只有*電離的氣體才是等離子體，但需要有足夠高電離度的電離氣體才具有等離子體性質(zhì)。當(dāng)體系中“電性”比“中性”更重要時(shí)，這一體系可稱(chēng)為等離子體。