管式化學氣相沉積設備 CVD100產品概述
1、適用范圍:適合于各單位實驗室、高等院校實驗室、教學等的項目科研、產品中試之用。
2、產品優點及特點:該設備是利用有機金屬源化學氣相沉積技術,石英管生長室清潔無污染;多路氣體控制合理;PID加熱溫度高控溫準確且均勻,高真空環境,兼具真空退火爐功能。
3、主要用途:可制備用于光電子、半導體、石墨烯、微波器件等高純薄膜。
管式化學氣相沉積設備 CVD100技術參數
型號 | CVD100 |
真空腔室結構 | 高純石英管 |
真空腔室尺寸 | Φ100×L1000mm |
襯底溫度 | 室溫~1000℃,可調可控 |
電源 | DC |
控制方式 | PLC控制 |
占地面積 | 主機L1620×W1060×H1900mm |
總功率 | ≥6KW |
北京泰科諾科技有限公司自2003年成立以來,一直專注于真空設備的研發、設計、制造,是一家集真空薄膜新材料沉積設備、真空技術應用設備等相關設備及其工藝的研發、設計、制造、銷售、服務于一體的*。
公司的研發中試孵化基地位于毗鄰雄安新區的任丘經濟技術開發區,距離未來的雄安高鐵站約20公里,占地面積20000㎡,不僅建有包括機加工、電氣、結構組裝,調試等多個中試生產車間和辦公樓以及其它輔助廠房;同時建有研發工藝、服務客戶的開放實驗室。公司還聘請了國內外真空行業zi深的專家、教授作為本公司的技術顧問,確保真空設備產品高水平,始終保持較強的自主研發能力、*的設計概念、領xian的技術優勢。