1、離子體
在減壓（1.33~1330Pa）和高頻電場下發生輝光放電，少量氣體分子被電離產生高溫電子，穿梭在常溫或接近常溫的氣體中發生碰撞，此時電子溫度高達104~105K，而氣體的離子和分子的溫度與環境相同，約10K，遠遠低于電子的溫度，是一種非平衡體系，也稱為非平衡等離子體或低溫離子體。
2、離子廢氣設備技術原理
離子體工業廢氣處理成套設備和技術是在原電暈放電基礎上由高頻高壓電場通過放電產生的新一代低溫等離子體技術具有能量高、電子發射密度高等特點，其凈化原理如下：
●在放電過程中，電子從電場中獲得能量，通過非彈性碰撞將能量轉化為污染物分子的內能或動能，這些獲得能量的分子被激發或發生電離形成活性基團，當污染物分子獲得的能量大于其分子鍵能的結合能時，污染物分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質原子或由單一原子構成得無害氣體分子。
●等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，生成無害產物。
●物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。
●生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。
3、適用范圍
該設備適用范圍廣泛，可用于石油化工、制藥行業、飼料和肥料加工廠、畜牧產品農場、化纖廠、皮革廠、制漿廠、污水泵站、各類污水處理廠、涂料、食品填加劑廠、皮革加工、感光材料、汽車制造以及公廁、糞便轉運站等諸多行業存在的有機廢氣、異味、惡臭等污染問題。既可應用于工業廢氣的治理，也可應用于室內空氣凈化等，是一項用途極為廣泛的新型空氣環境潔凈技術和產品。
