微型X射線熒光光譜儀是美國進口的臺式多功能X射線熒光光譜儀，適合固體，液體，顆粒，粉末; 小而大，以及粗糙或拋光，幾乎任何樣品都可以測量。
微型X射線熒光光譜儀硬件
X射線源
?光斑尺寸≤10μ+，帶有多毛細管光學元件
?50kV / 50W / 1mA Rh靶（其他可用）x射線管
?濾光輪與多達8個過濾器定位在聚焦光學元件之前
?可選擇使用兩個X射線管用于不同的元件范圍，目標和光斑尺寸
 
 X射線探測器
  ?30mm2至150mm2，可提高速度，縮短采集時間
            ?≤130-145eV分辨率
X射線熒光光譜儀位移臺
電動XYZ
?速度可達300mm / s（地圖采集≤1ms /像素）
?精度低至≤1μ
?10kg +負載能力

適合樣品和檢測條件
 ?空氣，真空和氦氣
?在一分鐘內準備好真空
 ?固體，液體，粉末和顆粒
的抽真空條件

樣品室尺寸
?樣品室尺寸為508x457x254mm
?行程高達250x200mm（總行程可達320x320x120mm）
?從管到樣品的從上到下的垂直幾何

光譜收集與分析
?一鍵式采集和自動峰值識別
?可定制的識別，標簽，處理和量化
?滾動周期圖
?拖放疊加層
?自動重疊校正，求和/退出峰去除，背景校正和線性/非線性去卷積
?基本參數（FP）和定量匹配
?材料分類數據庫
成像
?直接從圖像中進行多點自動分析
?快速特征尺寸測量的形態處理
?圖像拼接和蒙太奇
?分割和特征分離
?顆粒分析包，包括邊界移除，排序，排除和組成分類