復合光離是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包換電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為復合低溫光離。復合光離降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子與廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

該系統主要由外殼、電場、高壓電源、UV紫外線燈管、納米光觸媒板等構成。凈化效率高，性能穩定。運行成本低，耗電小。設備風阻<300pa，各部件易拆裝、清洗快捷省時、維護保養簡便、費用低、安全可靠，設備采用管道排放形式，有機廢氣處理能力達95％。技術等離子高頻電源，穩定性強、安全可靠、高效。無需活性炭材料，不存在飽和脫附再生原料，無二次污染。使用壽命長，安裝簡便，操作過程實行自動化。

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