光氧廢氣凈化器采用正負雙極電離技術。在電場作用下，光氧發生器產生大量的 a 粒子， a 粒子與空氣中的氧分子進行碰撞而形成正負氧離子。正氧離子具有很強的氧化性，能在極短的時間內氧化分解甲硫醇、氨、硫化氫等污染因子，且在與 VOC 分子相接觸后打開有機揮發性氣體的化學鍵，經過一系列的反應后zui終生成二氧化碳和水等穩定無害的小分子。同時氧離子能破壞空氣中細菌的生存環境，降低室內細菌濃度。帶電離子可以吸附大于自身重量幾十倍的懸浮顆粒，靠自重沉降下來，從而清除空氣中懸浮膠體達到凈化空氣的目的。利用某些具有吸附能力的物質如活性炭、硅膠、沸石分子篩、活性氧化鋁等具有多孔材料吸附有害成分而達到消除有害污染的目的。微孔和介孔材料已被廣泛應用于吸附過程。然而，在實踐中遇到的常見的多孔材料（如活性炭，硅膠和分子篩）的一些缺點，如低的吸附能力，易燃性，光氧廢氣凈化器的控制范圍廣并有與再生有關的其他問題。因此，人們一直專注新型多孔材料的吸附能力，快速反應動力學和高可逆性。吸附法的優點在于去除效率高、能耗低、工藝成熟、脫附后溶劑可回收。缺點在于是設備龐大，流程復雜，投資后運行費用較高且有二次污染產生，當廢氣中有膠粒物質或其他雜質時，吸附劑有害。
光氧廢氣凈化器效果主要取決于吸附劑性質、光氧廢氣凈化器的控制范圍廣氣相污染物種和吸附系統工藝條件(如操作溫度、濕度等因素)，因而吸附法的關鍵問題就在于對吸附劑的選擇。吸附劑要具有密集的細孔結構，內表面積大，吸附性能好，化學性質穩定，耐酸堿，耐水，耐高溫高壓，不易破碎，對空氣阻力小。常用的吸附劑主要有活性炭（顆粒狀和纖維狀）、活性氧化鋁、硅膠、人工沸石等。
吸附法與其它凈化方法的集成技術治理眾多行業的有機廢氣，在國內得到了推廣應用。如采用液體吸附和活性炭吸附法聯合處理高濃度可回收廢氣；采用吸附法和催化燃燒法聯合處理廢氣等。吸附法與其它凈化方法聯用后不僅避免了兩種方法各自的缺點，而且具有吸附效率高，無二次污染等特點。
