低溫等離子是一種聚集態物質，它不同于我們所認識的固體、液體、氣體，它是物質的第四種形態，在運行過程中當外加電壓達到了氣體放電的電壓的時候，氣體就會被擊穿，這時就會產生出各種離子和原子在內的混合體，雖然在放電過程中電子的溫度非常高，但是重粒子的溫度卻是很低的，這時整個體系都會呈現出低溫的狀態，因此它也就被稱之為是低溫等離子體了。
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