濰坊凈化工程裝修超凈室的配備要求
濰坊凈化工程裝修超凈室的配備要求,超凈室各項(xiàng)功能的配備均以滿足各項(xiàng)工藝要求為前提,具備以下特點(diǎn):
(1) 在潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)隔離口設(shè)有"TJ -1"型單人定時(shí)冷熱風(fēng)淋室,它是工作人員進(jìn)入超凈室的凈化關(guān)口。
(2) 在非潔凈區(qū)設(shè)有更衣室,操作人員更換防靜電潔凈服后才可進(jìn)入超凈室。
(3) 設(shè)有室內(nèi)對(duì)外器件、物品傳遞窗。
(4) 室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級(jí),在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺(tái)以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級(jí)。
(5) 室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過(guò)濾、紫外線殺菌及離子交換,*提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。
(6) 在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺(tái)及電鍍腐蝕工作臺(tái)設(shè)置了獨(dú)立的對(duì)外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染。空調(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃-25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。
青島潔凈凈化技術(shù)有限公司,從事凈化工程行業(yè)多年,承接百級(jí)至三十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室(超凈室)設(shè)計(jì),實(shí)驗(yàn)室、無(wú)菌室的設(shè)計(jì),凈化設(shè)備有:風(fēng)淋室、傳遞窗、初中高效過(guò)濾器、層流罩、FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元、高效送風(fēng)口及凈化間耗材等。咨詢(xún):